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第174部分(第4/4 頁)

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伍裡的。

永山絢鬥一目十行的掃視著評標檔案,渴望在字裡行間找到一點點能夠用來加分的條目。直到翻到其中一頁,突然愣住了。

他忍不住顫抖了一下,偷眼看向白石茉莉奈之後,又連忙小心的把目光移到了檔案上。明明想翻開下一頁,卻無論如何也下不了手了。

“永山君,有什麼發現嗎?”白石茉莉奈很快就發現了他的異常,連忙看了過來。

“白石部長,您看這裡。如果我們……”永山絢鬥有些顫抖的向白石茉莉奈公佈著自己的發現:“如果我們能夠提供奈米光柵技術的話,根據評分規則可是足足能夠加20分!”

“奈米光柵技術!”白石茉莉奈愣了愣,忍不住震驚道:“中國人想要做什麼!”

作為尼康光刻機事業部的部長,白石茉莉奈當然知道奈米光柵是做什麼用的。光刻機鏡頭加工、或者說整個光學工業生產,其實可以分為兩個難題。

一是定位,光學加工車床使用的電機,是定位精度的保證。直線伺服電機的如果一個螺距是4mm,使用dsp細分晶片控制下,就能把一個螺距細分成6400份。每一次脈衝,就只能前進一個螺距的6400分之一,也就是625奈米。

但是怎麼知道這次脈衝是否剛好跑了625奈米?如果需要的不止是625奈米呢?如果需要定位的位置在630奈米的位置呢?

這個時候,就需要測量技術上場了。奈米光柵技術,直白來說,就是以某種原子為尺子,去測量加工的精度。這種尺子會根據原子種類的不同,導致測量的精度也就不同。1995年日本人在製造光刻機中使用的技術,大概能夠測量120nm的誤差。這在瓦森納協定中是嚴格禁止對華出口的,當然這個協定還要等一年時間,在1996年11月才開始實施。

在此之前,日本只是作為美國爸爸的小弟,自覺自願的在實施對華禁運而已。這個禁運說難也難,說容易也容易。真要是想耍流氓,不論是

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