692.看到希望(第1章)(第4/4 頁)
量約50j,被髮射到週期為0125總長4的平面波蕩器中,在這裡與計量光源ls儲存環中儲存的電子束共同傳播。
在傳播過程中,由於波盪器間隙滿足共振條件,鐳射-電子能量交換能夠最大程度進行,使得電子束產生正弦能量調製圖案。
在周長為48的準同步儲存環中旋轉一圈後,電子向同步相聚集,最終形成微束。來自電子束的波盪器輻射之後透過二向色鏡分離為基波和二次諧波,訊號則主要集中在二次諧波上。
在光電探測器前插入一個窄帶通濾波器,即可拾取到由微束產生的窄帶相干輻射。”
很好。
到後面曹陽已經聽不懂他在說些什麼了。
不愧是專業搞這個。
曹陽其實只關心一個問題,那就是——
“我們能做出這個極紫外光源穩定嗎?它能夠用來進行光刻製造晶片嗎?”
“理論上是可行的。”唐教授點點頭,“不過我們現在還處於基礎的起步階段,只是將光源透過實驗的形式製造出來,可相應的成本還是比較高的,想要將成本降低下來,可能還需要有一段時間。”
“您預期需要多久?”曹陽問到。
“嗯……短的話3、5年,長的話8、9年,但是肯定能把成本壓下來,而且我們會完善相應的裝置,製造出更穩定而且功效更高的極紫外光源。”
從理論上來說,現在唐教授採用的這種微態光聚束,能產生的光的波長比荷蘭那邊asl製作的光刻機光源更短,更短的光源有好處也有壞處。
好處就在於能夠製造出精細度更高的晶片,比如未來的3n晶片,甚至是2n晶片都能用這個來進行製作。
壞處就在於,光有光源還不夠,需要有一系列配套的裝置。
比如說光學元件,高精度的加工機床,還有各種各樣的製作流程使用裝置等等,這些都是短板,需要一個一個被攻克才行的難題。
不過,只要能邁出第一步,曹陽就基本上能看到未來再向自己招手了。
……
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