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未來想要縮小刻蝕的解析度，甚至還要繼續上14nm的極紫外光。至於10奈米以下，可能人類的科技就已經研究出其他的加工方式了吧。

當然這些只是不準確的科普說法，如果具體要解釋一下光波和刻蝕解析度的關係，或者解釋一下照準系統的最大解析度概念之類的……

本書的長度恐怕會有些不足，以及略有騙稿費的嫌疑。雖然這些知識如果真的講出來千字3分就太便宜了。本著經不輕傳的道理（其實作者也不懂）就不多說了。

言歸正傳，塗岸北腦海中靈光一現，正是水的一種特性。那就是光透過液體介質後光源波長就會縮短。其縮短的倍率即為液體介質的折射率。也就是說光刻機的光源如果在照射到光刻膠之前先在水中穿行一次，就相當於換了一個更細的刻刀。

而水的折射率是1。44，當0。8微米波長的光線穿過水之後，0。8除以1。44豈不正是0。56微米？如果這項技術真的有可行性。那確實是可以在不提高精密製造水平的前提下，得到更高一代的晶片製程技術。

這麼簡單的原理，周碩當然不是第一個想到的。用水縮短光源的波長來提高製程工藝。是未來光刻機普遍採用的技術。也就是學名叫做沉浸式光刻機的裝置。透過不斷努力，未來的光刻機早就已經實現了這項技術。不僅是折射率1。44的水。更開發出折射率更高的液體。沉浸液成為鏡片和光源之外，第三個能夠快速減小線寬的因素。

“怎麼樣。大家現在還有什麼疑問沒有？”

在場的十四個研發人員都是周碩一手挑出來的大才，誰的心思不是一點就透。有幾個甚至就是中科院裡，參加了0。8微米全套工藝開發的研究員。他只是透出一點話頭，這群人的眼睛立刻就亮了起來。

使用水作為沉浸液還面臨著很多的問題，比如說光刻膠的溶解、水中的雜質和穩定性，蒸發擾動以及水中氣體的去除……

但這些問題和提高精密製造水平，根本不可同日而語。精密製造那是拼基礎積累的領域，但拼化學和系統設計，中國人可是太有信心了。

傳承自蘇聯的中國科學家，在系統設計方面可是深諳如何用巧妙方法克服困難要求的。至於某些方面技不如人的自卑，那就完全沒有必要了。這種處境既可以叫窮國的無奈，也可以叫發展中國家的後發優勢，全看人們從什麼角度解讀了。

以中國未來取得的成就來看，大可自豪的說是屬於後一種角度。

“唔，我看這個路線說不定可以。”塗岸北緩緩的點了點頭，笑道：“周校長這個辦法確實是奇思妙想，我看有嘗試一下的必要。”

“我也覺得能成。”他身邊之前質問周碩的中年男人，也不自覺的點頭道：“如果光刻膠的防溶解配方一時拿不出來，我看可以增加一組鏡頭把水和晶圓隔離開。”

“水中的氣體可以透過真空法去除，這樣我們就只需要考慮蒸發造成的擾動了……”

這十四個研究狂人，在周碩指出了路線之後，很快就一個個都找到了自己專業的切入點。絲毫不在意之前自己還對這個計劃表示反對，和實打實的科技成果比起來，面子值幾個錢？國家投入十幾個億，花費了三年時間才把工藝從1。2微米推進到0。8微米。如果被自己從0。8微米再推進到0。5微米，恐怕當前實驗室裡又要多幾個能領國。務。院津貼的了吧！

周碩笑著點頭道：“大家不要著急，我已經為你們每個人的研究內容，專門寫了個計劃書。接下來一個月，我們只要能夠按部就班的完成計劃書裡的研究任務，肯定就能準時的拿出0。5微米工藝生產線。”

塗岸北看著周碩從一旁推出來的檔案車，窘迫的笑著搖了搖頭說道：“之前真不應該懷疑周校長，你可從來都是謀定而後動啊！有這種東西也不早拿出來，不然哪來這麼多麻煩？”

周碩拱了拱手，笑嘻嘻的說道：“怪我、怪我，塗老你千萬大人有大量！”

這也是周碩一直以來在研究管理上的心得，直接上來就拿出試驗計劃，下面人難免會覺得反正是老闆的專案，做起來多少會有些懈怠沒有動力。但如果事先透過啟發的方式，讓下面人瞭解了自己的思路和意圖，那麼他們就會把這個實驗當做是自己驗證知識的過程。可別小看這似乎多此一舉的行為，周碩又不是全知全能的神。給出的試驗計劃裡難免有疏漏和謬誤的地方，研究員的積極性和主觀能動性這時可就是實驗成敗的關鍵了。

眾人從周碩推出來的檔案車上，取了自己負