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，心裡就大喊了一聲“八嘎雅路！”。從幾組透鏡的佈置來看，泛翰集團顯然已經是在研究0。35微米工藝的光刻機了！光刻機的加工精度不同，使用的透鏡數量、種類和佈置都有非常多的講究。

作為尼康光刻機專案的參與者。城三太郎對當前最先進的0。35微米工藝光刻機，透鏡的佈置當然是瞭若指掌。他百分之百的肯定。泛翰集團目前已經摸到了這項技術的門路，實現技術突破恐怕只是時間問題了！

“趙部長。你這是做什麼？”江清月看到一行人擠進了實驗室裡，皺著眉頭問道。

“小江啊，快來我給你介紹一下！”趙大健呵呵笑著，擺了擺手說道：“這是日本東芝來咱們泛翰研究院的考察團，給國際友人們彙報一下咱們的研究進度，說不定還能給你的專案指點一二呢。”

江清月疑惑的看了趙大健一眼，她在泛翰研究院只是比較基層的研究員，級別是比不上趙大健的。但趙大健負責的是運營部，本身又管不到技術部的事情。她抬頭向外面看去。卻見到笑扉扉站在門外微微的點了點頭，這才放下了心來。

“我們的試驗正在測試高密度石英材料製作的鏡頭，在經過多次反射折射之後，進行色差補償的方案……”

“色差補償！”城三太郎微微一愣，臉上的表情就有些僵硬了。如果說之前他還只是懷疑，那麼聽到江清月的研究內容，就幾乎是坐實了泛翰集團在0。35微米工藝的技術上，肯定是取得了不小的突破。色差補償是光刻機研究領域，非常重要的內容。透過使色差最小化。能夠抑制由鐳射頻寬變動所引起的光學鄰近效應。比如區域性光斑、入射角和熱象差、偏振狀態控制能力的保持。

這些技術難題，直接決定了反射鏡的數量與型別。這些鏡頭設計的細節，每一點改進都意味著距離成功更近了一步。

“我能看看你們的實驗記錄嗎？”城三太郎還是非常謹慎的提出了他的要求，中國人或許可以擺一個花架子來騙他。但絕對沒有辦法編出一套正確的實驗結果來。如果這種實驗記錄都能編出來，那更說明他們掌握了這項技術……

“小江，還不快把你們的實驗記錄拿出來。給城三太郎先生看看？”趙大健說著，還回過身來致歉道：“城三先生是東芝方面的光刻技術專家。您稍微指點兩句，肯定會讓我們獲益良多。”

“哪裡。我想以中國人的智慧，一定可以取得讓我刮目相看的成績。”城三太郎見江清月取來了實驗記錄，也就不在意多客氣兩句了。在日本越是受教育程度高的人，對漢語閱讀就越流利，倒是不用擔心他會看不懂實驗記錄。

城三太郎開啟實驗記錄，粗粗的掃了兩眼，不由得就是暗自心驚。各種光波在不同材質之中穿行，產生的變化都不相同。193nm的準分子鐳射，想要應用在光刻機上，就必須對鏡頭進行全新設計。在此之前就必須詳細的試驗新材料，全面的瞭解鏡頭對鐳射產生的所有影響。

從實驗記錄的結果上面來看，顯然泛翰集團已經對高密度石英，進行了全面的鐳射測試。測試進度至少已經達到了80％的水平，要知道當全部測試完成之後，接下來要進行的就是鏡片設計工作了。進入這個階段，基本就可以看做是0。35微米工藝光刻機技術開發，進入到最後的步奏了。

“趙桑，這些資料都是你們自己的鏡頭，測試出來的結果嗎？”城三太郎頗為焦急的問道，他這樣的問題可以說是非常的不禮貌，但這個時候已經沒有心情去計較這種小事了。

能夠測試出完全正確的鏡頭資料，這說明中國人已經掌握了0。35微米光刻機所需的鏡頭加工技術。這對尼康來說，簡直就像是在鄉下小河溝裡，突然釣出來一條大白鯊一樣。

當今國際上，如果把晶片生產技術分成三個檔次。那麼1。2到0。8微米，可以算是上點檔次的三流技術，至於1。2微米以上、乃至2微米以上的技術，已經基本沒有存在的價值了。而0。5微米技術，可以算是二流技術，是當今世界上晶圓廠的主流水平。至於0。35微米工藝，就連尼康也不過才剛剛掌握而已。

這突然之間，在中國這種科技荒漠的國度裡，城三太郎竟然發現了世界一流的光學鏡片加工水平，豈不是太過於荒謬了嗎！

這點把戲說穿了，其實毫不奇怪。周碩穿越前的二十年後，高密度石英材料早就已經被研究個透了。雖然沒有各項鏡片的具體實驗資料，但其本身的各項特性卻根本不是秘密。從基礎資料進行反向推算，很容易就能得到理論上的實驗資料。當然這些