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第224部分(第2/4 頁)

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:“所以,鶴田先生你能明白,我的覺悟嗎?為了讓我們中國人也能擁有這種光的藝術,我不惜一切代價!”

啪啪啪啪——

鶴田忍不住由衷的拍起手來,周碩的這一番話,讓他有種看到六十年代昭和男兒一般的風采。

日本崛起的基礎,正是在那個年代的那樣一批人手裡被奠定,他們擁有無限的熱情和為了國家奉獻的責任感、緊迫感。從這一點上來說,周碩和他們無疑是同類人。妄圖以自己的一雙肩膀,挑起一付原本不屬於自己的重擔。

夢想也好、責任也罷,世人常常嘲笑他們傻,卻忘記正是這樣的人才能成為撐起一個國家的脊樑。

“周桑說的太好了,讓我忍不住想到了我國戰後通產省的前輩佐橋滋。正是他這樣的人,懷著富強日本的夢想,付出無數的辛苦努力和熱血,這才有了日本的今天。”鶴田看起來,對那段歷史很是心馳神往:“今天的中國能有周桑這樣的人,我相信中國在未來一樣會成為一個美好的國家!”

來自鶴田的肯定,不僅是周碩,更讓泛翰集團所有與會的人都與有榮焉。人生最大的成就,莫過於來自敵人的肯定。鶴田這一句話,可以說是大大的振奮了泛翰集團這一側計程車氣。

“但是,時代已經不同了!”鶴田用更猛烈的氣勢,猛然回擊道:“這個世界是如此的冷酷,並不會因為人們的努力而一定就會有收穫。哪怕是佐橋滋的思想,現在在日本都已經沒有市場了。市場之所以是市場,就是因為它的冷酷無情和利益至上!所以真的非常抱歉,周桑你的理想我非常敬佩,但生意就只能是生意!”

“生意就是生意啊!”周碩坐在椅子上,放鬆的長嘆道:“說的真話,用這句話拿來給資本做腳註,實在是再貼切不過。”

“周桑也是知道市場不會以人的意志為轉移的,所以請不要再做無謂的掙扎了!”鶴田誠懇的說道:“請按照市場規律,面對現實吧!”

“哈哈哈哈!”周碩突然張嘴大笑了起來,站起身說道:“說得好,就讓我們面對現實吧!”

鶴田見到周碩的樣子,心下振奮的以為他已經想通了,卻不想他的話音打了個圈又兜了回去。

“既然如此,我們就用市場規律說話,請尼康公司面對現實吧——”

周碩雙目炯炯有神,拿出一份檔案猛的拍在了鶴田的面前。

第三百九十六章投影曝光

如果沒有周碩的干擾,從0。35微米工藝向0。25微米工藝過渡的光刻機,真實歷史上實際使用的是步進重複投影曝光技術。

在0。35微米工藝及之前,光刻機光學掩膜版的製作要求是非常高的。基本上和生產的晶片,是一對一全比例設計。

掩膜版投射的鏡頭需要與矽片進行完全的接觸,接觸中甚至要抽成真空狀態。然後光源系統的鐳射打到掩膜版上,投影部分的光刻膠就會被蒸發掉。把這樣的晶圓放到蝕刻機裡面,化學藥品就會將沒有覆蓋光刻膠的部分腐蝕掉,然後再把晶圓轉移到離子注入機上進行離子注入……

把鏡頭和晶圓直接接觸,或者兩者之間只有小縫隙的接近,這種光刻機被稱之為接觸、接近式曝光技術。因為使用這種技術的光刻機鏡頭要和晶圓進行完全的接觸,對掩膜版、鏡頭、晶圓和光刻膠都有非常高的要求。

這種設計自有其好的一面,對鏡頭精度要求低,系統複雜度低,以及成像質量高之類的優點。但也有其致命的缺陷,0。35微米工藝基本上就是其經濟性的極限了。

0。25微米工藝光刻機想要延續接觸式曝光,整個系統需要的機械精密程度,掩膜版的成本、掩膜版和矽片的接觸緊密度,系統的整合難度都開始了幾何級數的增加。

於是在原本的歷史上,尼康也好、阿斯麥也好都選擇了另一條路,那就是非接觸式曝光。也就是投影式曝光技術。

這種技術說白了,就是好像平常用放大鏡聚集太陽光一樣。用稜鏡系統將光源從遠處投射到矽片上。這樣經過幾次聚焦、折射、再聚焦,最終投影到矽片上的圖形比掩膜版甚至可以小上4倍。

對於沉浸式光刻技術而言。投影式曝光技術最大的好處就是——避免了使用防水光刻膠的高成本。

其實說起來,周碩現在真的很想哈哈大笑一下,以發洩自己內心的暢快!

日本人費盡心思弄到了防水光刻膠的技術,原本他們這個技術至少是可以吃一代光刻機沒問題的。歷史上,早期沉浸式光刻機系統也是使用防水光刻膠的接近式

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