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光刻機裝配過程中每一步都有質檢,系統裝配完畢之後還會有子系統自檢,直到出廠之前還會有全系統檢測。
像這種高精度、高科技的裝置,是要把誤差從最基本的環節就控制在最小範圍的。而且泛翰集團也不可能如此託大,真的等intel的人來做最後的檢測。
實際上今天這些過程本應該只是一次表演而已,胡老擔心直播檢測的過程有風險,周碩怎麼可能不知道?但在intel的人檢測之前,泛翰光學的工程師早就已經對這臺光刻機,進行過最細緻、全面的檢測。
整個系統完全達到了和intel簽署合同的要求,這才是周碩敢直播檢測過程的底氣。
他也相信,這麼嚴重的事情,下面人絕不敢糊弄自己。既然之前的檢測已經說明沒有問題,那就斷沒有讓intel的人檢測出問題的道理。
這也是為何麻友公如此驚訝,大喊“這不可能”的原因。最後一次檢測就是他負責的,更是他監督著手下人一項項得到了詳盡的資料。
六度工作臺的控制讀數是關鍵資料,之前測得的數值他還記憶猶新,絕不是眼前這個少了10%的資料!
“史蒂夫先生,我們的光刻機不可能出現這種問題……”
史蒂夫眼睛一立,瞪道:“這麼說,麻先生覺得是我的手下說謊了?”
“不。這……”
麻友公僵住了,他只是一個科學家。最多算半個管理者。處理這種突發事件,肯定不是他的強項。
但他還是堅定的相信。自己生產出來的光刻機,在效能上絕對沒有問題!
“我想,這可能是什麼誤會。或許是檢測裝置出錯,或者是操作過程不規範……”麻友公極力的辯解著。
然而史蒂夫卻不這樣認為,反而對麻友公的態度非常不滿。中國人真是失敗不起,明明產品出現問題,卻非要從其他地方找原因。
這樣想著,原本對麻友公的一些好感也沒有了。他不耐煩的說道:“這不可能,測試裝置都是經過精確除錯的。至於操作規範,我們intel會連這些小事都做不好嗎?詹姆斯,你來說說看!”
詹姆斯心中一笑,面上卻不露聲色,嚴肅的點頭道:“史蒂夫,這是赤果果的汙衊!六度工作臺的檢測過程有著準確的規範,我當然不可能做出錯誤的操作。首先六度工作臺的檢測分為兩大部分,分別是硬體檢測和軟體檢測……”
詹姆斯在那裡侃侃而談,顯示著自己對六度工作臺的瞭解之深刻。這東西確實是非常精密的機械裝置。複雜的電路控制、光感位移測量、瞬時定位補償,還要涉及到新材料的陶瓷制動器、球面柔性鉸鏈和三組驅動單元。
六度工作平臺能夠讓光刻機工作的時候,將外界傳遞到晶圓上的震動減少到最小狀態。以亞微米級尺寸工作的光刻機,哪怕是人說話的聲音。都能使其產生無法接受的誤差。
正是依靠六自由度精密定位工作臺的作用,才能讓光刻機順利的進行工作。尼康這條生產線使用的技術,甚至能對奈米級的震動進行補償。但是如果控制系統的效率減少10%。那將意味著這臺光刻機生產的晶片成品率,將下降至少10%。甚至是更多。
僅此一點,就已經相當於判了泛翰光學制造的0。25微米光刻機死刑。
麻友公當然不能讓詹姆斯肆無忌憚的攻擊自家產品的可靠性。漲紅了臉爭辯起來。
然而當詹姆斯拿出檢測裝置,將測量的結果重新調出來,麻友公頓時陷入了無話可說的境地。
產品如果沒有問題,測量結果就絕不會出現誤差。技術是最現實不過,資料就是最客觀的證明。
“怎麼,沒話說了?”詹姆斯有些沾沾自得,笑道:“你們中國人的產品其實也算不錯了,這麼短的時間裡就能把生產線運作起來。雖然有些小瑕疵,不過還是值得肯定的嘛!好了,雖然這次檢測沒有過關,不過還有下一次的機會麼!”
詹姆斯竟然拍了拍麻友公的肩膀,笑嘻嘻的安慰起他來。
“周總,怎麼辦?要不然,我讓人安排一下,把領導和媒體們都先送走?”
檢測車間外面,廠區的主席臺上,東方恪不知道什麼時候站在了周碩的身邊。他對技術不是太瞭解,但就像詹姆斯所說,雖然檢測出了一些問題,不過找到問題解決了就是。最多耽誤一兩個星期而已,一兩個月都已經耽誤了,還在乎這最後一拜嗎?
一直站在旁邊的胡老聞言,也小聲的點頭道:“是啊,像這種高科技設