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。如果要建設一個100平米的實驗室，光建設成本就超過了1000萬人民幣的造價，這還沒算上實驗裝置。想建的小一點，單位成本就要劇增，因為100平米用的空調系統已經是最小的了。實驗室規模再小，反而更加不經濟。

不僅建設成本貴，建起來還不算完。這樣一個實驗室的維護成本，一個月還要10萬人民幣。

裡外裡算了半天帳，王中陽最終也沒下了這個決心。

“王總這邊請。”周碩安靜的燈王中陽參觀過了無塵室，然後站到了實驗室的中央。這裡有一個大概三米長、兩米寬的裝置，看起來應該是中科院微電子研究中心出品的0。8微米工藝光刻機。

只不過如今這臺光刻機很多地方，已經顯得和它原始的樣子有些面目全非了。

最明顯的地方，應該是它的工作臺。原來用於光刻200mm單晶矽晶圓的工作臺，現在已經被加大了數倍面積。由此帶動的傳動、對準等子系統的改進，可以說和重新設計一套光刻機系統也沒什麼區別了。

這還要多虧了尼康無私提供的光刻機成套設計資料，很多地方泛翰集團都參照尼康的技術對這臺光刻機進行了改造。

而它之前複雜的稜鏡系統也進行了精簡，由於採用了接觸式沉浸光刻技術，生產晶片用的複雜鐳射系統被極大的精簡，但仍然保持了0。8微米的工藝水準。

造液晶面板不可能像晶片一樣複雜，液晶顯示器的光刻面積遠超製造晶片的晶圓，如果讓液晶顯示器高的和同等面積的cpu一樣，這恐怕就沒人能買得起了。

王中陽雖然不懂光刻機，但沒吃過豬肉總見過豬跑。憑藉松下合資方的優勢，他可是廢了老大的勁兒才去過一次松下的液晶生產廠。雖然那不是一次愉快的參觀記憶，但還是讓他對ito光刻機有了一個初步的認識。

和他記憶中松下的生產裝置比起來，單看賣相泛翰集團這臺裝置也不輸給他們了。和土鱉產品的傳統不同，這臺經過改造的0。8微米光刻機效能如何不說，單看造型和塗裝就有晃瞎人眼的效果。

王中陽幾乎是貪婪的看著這臺光刻機，和當初看到日本人光刻機時候的心情完全不同。這次他的心裡不再是壓抑和惴惴不安，而是充滿了驕傲和自豪！

光刻機！光刻機！光刻