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了這種加了蓋子的單晶爐說道:“這是封閉式矽單晶爐啊!這是國外的技術?”
王守覺對林蘭英問道:“林研究員你是咱們國內開門式矽單晶爐的設計者,依你看這種封閉式的單晶爐怎麼樣?”
“咱們和國外脫節太久了,我也需要觀察一段時間才能確定國外的水平!這還是我近年來第一次看到國外的矽單晶爐!”林蘭英說道,接著她又指著研究人員圍著的一臺單晶爐問道:“那是在做什麼?”她走到這臺單晶爐的旁邊看到計算機顯示器上的介面問道:“這種單晶爐實現了自動化控制?”
研究人員讓到了一邊,三位科學家走到了近前。張綬慶向他們介紹道:“這是一臺直拉型單晶生長裝置,它能用於75mm(3英寸)矽單晶的生長。目前我們測試出這種單晶爐能很好的生長出3英寸五位錯矽單晶。這臺裝置還加裝了CCD掃描直徑控制系統和完善的熱管理系統,可實現矽單晶生長的全程自動化控制。它的自動化率高,各部件運轉精度好,我們現在運用它生長矽單晶,隨著操作人員的熟練良品率越來越高了。先前由於剛接觸不熟悉,良品率很低,目前經過摸索,測試輸入準確資料,現在矽單晶的良品率上升到了60%!”
“等等!你們的矽單晶運用了氬氣生長方式?”林蘭英疑惑的問道。
“是的,我們這種提拉式單晶爐用了進口的高純氬氣,而且還採用了高真空系統。這是自動化的矽單晶爐,如果採用了一整套的準確資料,生長良品率能提高到95%以上!”林強生走上前來對林蘭英研究員說道。
這位專家62歲,有我國半導體材料之母的稱號,林強生在她老人家面前也顯得謹慎了許多。
“小夥子,你的這種單晶爐對我國的意義很大,請問這種單晶爐是在國外引進的嗎?”林蘭英向林強生問道。
林強生說道:“技術引進工作我也正在做,相信不久之後就會有國外公司賣給我相關技術!”
“小林同志,你看我們可不可以現場觀察一次單晶矽的製備過程?”王守武向林強生問道。
林強生點點頭向幾位專家笑道:“當然了,求之不得!幾位我這就送來一批材料,請你們稍等!”
看著林強生快步走出了車間,林蘭英奇怪的向張綬慶問道:“一會就能開爐嗎?”
“哈哈,當然了,小林同志這裡的效率是很高的,我們稍等一會,一會材料過來就能開爐。林研究員,呆會我讓您看一看這裡的石英坩堝,您絕對會驚訝的!”
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第二百六十章晶片,龍之蛋!
林強生很快讓人運來了原料,需要兩個人推動的巨大手推車上面一袋袋從國外進口的高純多晶矽被搬下車,然後還有一車車進口的氬氣。
由張綬慶師徒們操作,馬上開始準備製備一爐單晶。林蘭英忍不住的參與進來,她先是向張綬慶要過了實驗資料,並很快報出了一條條科學資料,糾正了張綬慶師徒們關於矽單晶生長當中或錯誤或缺失的運算元據。
林蘭英的記憶力驚人,而且她的記憶準確、持久,對數字有天然的敏感。她是負責研製成我國第一根矽單晶、第一根無錯位矽單晶、第一臺高壓單晶爐。。。
這位女先生是我國微電子和光電子領域的奠基人之一,在矽單晶製備等領域帶領國內拼搏了二十多年的資深專家,再加上她令人驚奇的記憶力,幾乎準確記住了所有的矽單晶製備的環節,她的到來對林強生的矽單晶生產製造簡直如有神助一般!
“真好!”這臺單晶爐按照準確的資料輕而易舉的就能讓晶體生長無需擔心失敗,林蘭英透過小視窗看著單晶爐內部單晶矽不斷生長不由得嘆道。
原來開門式矽單晶爐生長長達180多個小時,晶體最初開始生長這段時間是最難熬的,如今這個加了蓋子的單晶爐溫度上升迅速而且穩定,單晶生長時間也快了很多。
“想不到時間提速了這麼多,如果單晶棒生長時間少良品率又高,這種技術讓我國掌握的話,國內的半導體事業就有望追趕上歐美髮達國家的水平!”王守覺湊近了裝置往裡看了看,讚歎的說道。
“是啊,如果速度真的提高了很多,那我們很有必要普及這種技術啊!如果生長時間真的確定是三天左右,那就能使一臺單晶爐節約70%的電力,這可以節約多少能源,這種技術我看有必要大規模推廣!”王守武也肯定的說道。
兩人不但是兄弟,而且都是國內半導體事業的奠基人,一位
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