第435章 第一臺國產光刻機(第2/3 頁)

微鏡。

袁楓對這臺光刻機的外形基本滿意，因為哪怕現在是佳能公司的光刻機，看外形也就這種水平。“對了李教授，咱們的這臺光刻機採用的是什麼工藝？理論工藝精度是多少？”

李紅軍道：“咱們的這臺光刻機採用的是自動對準分步式光刻工藝，屬於非接觸式的加工流程，理論最小加工精度能夠達到一微米左右。”

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袁楓點了點頭，按理說英特爾8086也才三微米左右，加工精度一微米自然是足足有餘了。當然，對方說的也只是理論最小精度，畢竟理論和現實還是有相當差距的。

“那加工速度怎麼樣？曝光時間多少？”

“圖案曝光三十秒左右，加工速度就不好說了，速度要看掩膜板的數量和晶圓面積，還要計算人工流程的停機時間。如果以十張掩膜板為例，停機時間，算上晶圓尺寸……每臺機器每小時大概能生產八十顆左右的半導體，算上良品率大概能有五十顆吧！當然工藝更復雜的情況下就不好說了。每小時三四十顆或這十幾二十顆也是可能的，主要還是要看工藝。”

袁楓點了點頭，按理說二十張板的話，一臺機器，一小時能生產三四十顆晶片也算行了。就算現在的機器效能不行，只能開半天機，每天起碼也能生產三四百顆，一年起碼十萬顆，十臺機器年產能就是一百萬，五百萬晶片產能的話，五十臺機器也就夠了。

當然以國內現在的需求，似乎五百萬有點多，當然，晶片也不僅僅只cpu，還有其他晶片要生產呢！而且這都是理想的情況下，實際情況可能更加的複雜，可能需要數量更多的光刻機，而且生產線也要重新設計。

就在這個時候有人拿過來一些白大褂。

幾人換好白大褂，戴好帽子進入了房間……當然並不是所有人都進去了。

……

空調不斷的抽離空氣中灰塵顆粒……李紅軍則站在光刻機旁，啟動機器，當機器啟動成功，他則看向了袁楓：“首先，我們需要設定好曝光時間、光源強度等關鍵引數。這些引數將直接影響到產品的最終質量和精度。”

袁楓點點頭，他知道這些都是至關重要的。他注意到控制面板上的顯示屏各種數字，看來應該是光刻機在執行過程中的資訊反饋。

李紅軍開啟了光刻機的頂蓋，露出了裡面的晶圓平臺。他小心翼翼地將一塊晶圓放置在平臺上並用夾具固定好。然後，他取出一個掩膜板，這是光刻過程中必不可少的部分，上面刻有電路圖案的模板。

“這個掩膜板是我們自己測試用的，晶片工藝一般，不過只要圖案將透過光源投射到晶圓上，最終就形成我們需要的電路結構了。”

袁楓仔細觀察著掩膜板上的圖案，它們雖然微小但卻精細至極。他知道，這些圖案的精確性將直接決定最終晶片的效能。

一切準備就緒後，李紅軍按下了啟動按鈕……光刻機開始緩緩運轉起來，發出低沉的轟鳴聲。光刻的過程眾人也是全程目擊，隨著時間的推移，機器的執行聲音逐漸穩定下來。

經過一段時間的等待，光刻機終於完成了曝光過程。

李紅軍小心翼翼地取出晶圓，展示給袁楓等人看……他們看到晶圓上呈現出清晰、完整的電路圖案，似乎看起來好像是一張地圖。

李紅軍笑著道：“這就是我們青華大學的鳥瞰圖。”

袁楓見狀也非常的高興，相信有了這臺機器，自己的晶片工廠就可以正式籌備了。

……

眾人離開了實驗室來到了計算機系的會議室坐好。

袁楓看向了李紅軍：“李教授，不知道咱們生產的這臺光刻機，預計的售價大概是多少錢一臺？”

李紅軍想了想道：“這個，我還真就沒想過……主要是咱們的光刻機成本並不低，加工精度非常的高，輕微的震動就能造成誤差。如果要是賣的話，我想怎麼也要十萬元一臺。”

袁楓聞言還以為聽錯了呢！急忙道：“你說多少錢？”

“十萬元一臺！怎麼了？太貴了嗎！沒辦法，光刻機的加工成本在那放著呢！十萬塊賺不了多少錢的。”

“我也沒說貴，我的意思是這太便宜了吧！佳能的同型別光刻機，價格大概要四十萬呢！而且還是米金。對了李教授，你剛剛說的是人民幣吧！不是米金吧？”

“不是米金，我說的是人民幣。其實十萬這個價格我認為還可以了，雖然佳能的光刻機價格更貴，但人家的